クリーンルーム内の装置を、より小型化するために

容易に増床できないクリーンルームでは、限られたスペースを有効活用する観点から、設置装置の小型化が求められています。しかし、装置の機構的には小型化が可能であっても、使用されている各種パーツのサイズがボトルネックとなり、それ以上の小型化を実現できないというケースも少なくありません。
例えば安全性を考慮してSEMI規格に準拠しているパーツを選ぶと、どうしても最適なサイズが見当たらず、ムダなスペースが生まれてしまうということもあります。

半導体製造装置のメーカー様の中には、できるだけ小さなパーツを必要とされている方も多くいらっしゃるのではないでしょうか。
 

最薄クラスのドアインターロックスイッチが、設計の自由度を高める

より具体的なケースを想定してみると…

長時間稼働し続ける半導体製造装置には、加工状況を確認するためや保守メンテナンス用の扉が四方に設置されており、それぞれの扉の内側に開閉時の安全性を確保するドアインターロックスイッチの取り付けが義務付けられています。
このドアインターロックスイッチを小形化すれば、必然的に装置内のスペースをより広く確保することができるため、より小さな装置を設計しやすくなるでしょう。
ドアインターロックスイッチに小形のものが無くて扉を小さくする装置設計を断念された方も多いのではないでしょうか。
 

こうしたお客様の設計課題を見据え、IDECでは最薄クラスのドア用安全スイッチ「HS6E形」と「HS6B形」をご用意しました。
どちらも3方向に取付けできるため、設計に合わせて自由な向きでの設置が可能。さらに5種のアクチュエータの中から使いやすいものを選べるため、スライド扉や開き扉などのあらゆる扉に対応します。またSEMI規格に準拠しており、安全性能も十分に確保しています。