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除電時間が必要な現場に長期にわたって効果的な対策を

メンテナンスの手間をかけずに効率良く除電

半導体製造現場の除電には効率と低コストが必須

効率を徹底的に追求する半導体の製造現場においては、静電気による素子破壊や異物の付着といった故障・不良の原因を排除することが欠かせません。従来、半導体製造工場では導電マットやイオナイザを用いて除電していましたが、導電マットはメーカーによって性能にバラつきがあり、信頼できるものであっても数年後には効果が下がってしまうという、品質や耐久性の面の課題があります。
また、イオナイザはタイプによっては除電できる距離が短かったり、除電フィルタをつけることで除電スピードが落ちたり、フィルタが目詰まりしてメンテナンスが必要になったりするなど、効率・維持コストの面で課題がありました。半導体製造における効率の徹底追求を考えると、現場では除電効果を高く保ちながら、長期にわたってメンテナンスなしに使える対策が不可欠。
しかし、なかなか決定的な対策が見つからず、半導体メーカー様では試行錯誤されているのではないでしょうか。

 

高効率・省メンテナンスを実現する新しいイオナイザ



半導体メーカー様が求められているのは、確実に除電でき、維持の手間やコストがかからない対策です。IDECでは半導体製造現場に合った除電対策として、省メンテナンス高速除電ブロア「SC1P形」をおすすめしています。
「SC1P形」は複数のイオン発生デバイスを一組にし高濃度のイオンをムラなくブロアすることで、除電対象物が離れていても確実にイオンを届けられるため、除電効果が高いことが特長。
さらに除塵フィルタを使用しても目詰まりを起こしにくい構造を採用しており、フィルタ取り付けによる除電効果の低下がほとんどありません。

電極の清掃や交換の期間が延びても性能劣化を起こさない省メンテナンス性などの特長もあり、余計な手間やコストを抑えることができます。
除電やメンテナンスの効率面でも、維持コストの面でも、半導体製造現場に適したスペックを備えた除電ブロアです。
 

現場に合わせた配置などのご相談もぜひIDECに


IDECはソリューション企業として、さまざまな業界の製造現場における課題解決をサポートしています。精密機器を扱う現場で必須の静電気対策をはじめ、生産性の向上や工数の削減、安全対策などのご相談にも対応していますので、まずはお気軽にお問合わせください。