ダウンタイムを毎年発生させる原因は蛍光灯の寿命の短さにある

半導体の素材として用いられている、シリコンウエハ。厚さわずか数mm以下のこの円盤には感光剤が塗られており、光源を当てることで回路のパターンを転写します（露光工程）。

そのため、露光工程以前に露光現象が起きないよう、半導体製造工程の照明には波長が長く、感光剤に影響しない黄色の蛍光灯が長年選ばれてきました。しかし、蛍光灯は寿命が約1年と短いため、毎年交換する必要があります。その結果、半導体製造工場は、蛍光灯交換のために製造を停止しなくてはなりませんでした。さらに、蛍光灯は微量ながら水銀を含んでおり、将来的に利用できなくなる可能性があります。

2013年10月には水銀の採掘から利用、廃棄に至るまでの規制を定める「水銀に関する水俣条約」の外交会議が開催され、92ヵ国が条約に署名を行いました。本条約が発効されれば、世界的に蛍光灯の生産量が減少し、安定的に使用できなくなると予想されます。

 

照明の交換頻度を約1/5にするIDECの長寿命照明

約1年に1回取替が必要なことや、将来的に使えなくなる可能性が高いことを考慮すると、これまでの慣習に基づいて蛍光灯を使い続けるというのは、賢明な選択とはいえません。

そこでIDECがご提案したいのが、半導体製造にも利用可能であり、約5年間の長期使用が可能なLED照明「LF1B-N形LED照明ユニット」です。

シリコンウエハを露光させない黄色の発光色をご用意しているだけでなく、半導体規格SEMI S8で規定されている、照明直下150mm地点で300LX以上の基準値もクリア。調光も可能なことから、どのようなサイズの半導体製造装置でも、適切な照度でご使用いただくことが可能です。