EMOスイッチの破損がかかえる、大損失のリスク

半導体製造においては、装置を稼働し続け、工場の生産性をいかに高い状態に保つかが最も重要な課題です。
危険な溶剤や薬剤などを使用する工程では、装置の動力を止める非常停止スイッチによって電源供給を遮断してしまうと、ガス漏れなどの二次的な危険状態が生じる可能性があります。そのため半導体業界安全規格SEMIでは、危険状態を作り出した負荷部分だけを遮断し、他の安全関連装置の動きを維持させるEMOスイッチの取り付けを義務づけています。

しかし、従来のEMOスイッチの機構構造は、過度な衝撃などでスイッチが破損してしまうと、スイッチを押しても回路を遮断できず、危険状態を止めることができないという可能性がありました。半導体製造装置メーカー様の中には、こうしたリスクを最小化し、装置の安全性をより高めたいと感じていた方もいらっしゃるのではないでしょうか。

 

危険状態にある回路のみ確実に遮断できるEMOスイッチ

非常時に危険状態を作り出した動作部分の回路だけを緊急遮断し、危険を確実に回避することは、製品の信頼性に関わります。

より安全な装置を設計したいという半導体製造装置メーカー様に、IDECがご提案したいのが第3世代のEMOスイッチ「XWシリーズ」。
このXWシリーズは「セーフティポテンシャル構造」と「セーフブレイクアクション」という二つの安全構造を搭載しています。過度な力や衝撃によってスイッチが破損した場合でも、取付けが不十分で操作ユニットから接点ユニットが万一離れることがあっても、B接点（NC接点）はメカニカル的に開路（接点OFF）して、危険状態を作り出した動作箇所の回路を遮断します。そのため、もしEMOスイッチの動作不良が発生したとしても確実に緊急遮断できるので、工場における損失の拡大を確実に防ぎます。

また、XWシリーズのEMOスイッチのために、スイッチガードやEMO表示用のシールも豊富にラインナップ。平常時にスイッチの意図しない動作を防ぐアクセサリも充実しています。