既存のコードリーダは選択肢が少なく高コスト

トレーサビリティを確保するためにはさまざまな設備が必要になります。コードリーダもそのひとつであり、近年では2次元コード対応のものや小形のものなど、用途に合わせて多様なコードリーダが販売されています。しかし、半導体製造装置で使われるロードポートでは、使用できるコードリーダの選択肢が限られていました。

ロードポートではコードリーダ設置箇所はSEMI規格E15.1で仕様が定められており、スペースが狭くコードよりも低い位置にあります。そのため、小形で斜め下からでも確実に読み取れるコードリーダでなければ使用できず、条件を満たすコードリーダが少なかったのです。

高性能の小形コードリーダでトータルコストを削減

従来、ロードポートで使われるコードリーダは設置の自由度が低く、角度調整用の部品を追加で購入する必要があることに加えて、角度調整にも工数がかかっていました。半導体製造装置メーカーでロードポートを設計するご担当者様の中には、「コードリーダにまつわるトータルコストを削減したい」と考えておられた方も多いのではないでしょうか。

IDECではこうしたご要望にお応えするため、小形かつ斜めの角度からも確実にコードを読み取れる固定式2次元コードスキャナ「WB2F形」をご用意しています。「WB2F形」は、縦24mm、横40mm、奥行32mmのコンパクトボディながら1.2メガピクセルのCMOSイメージセンサを搭載しており、小さなシンボルを広範囲で読み取りできる高画素センサにより装置の組み込み用途に適しています。

調整時に工数を削減するオートチューニング機能に加えて、エラー発生時に工数を削減する読取エラー時の画像保存機能があるため、トータルコスト削減とトレーサビリティの実現を両立することができます。

 

ロードポート以外にも半導体製造の現場で使用可能

固定式2次元コードスキャナ「WB2F形」は最大で150mm離れていても読み取りが可能です。各種バーコード、2次元コードに対応しています。

そのため、300mmのウェハを格納する「FOUP」や200mmのウェハを格納する「カセット」、ウェハの欠けなどを防ぐ「ウェハフレーム」など、さまざまな場所に設置されたコードを読み取ることもでき、幅広い用途にご使用いただけます。