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ダイサーのトレーサビリティ実現が劇的に簡単に

ダイシング工程のトレーサビリティを 新コードリーダで効率良く実現

トレーサビリティの実現には手間とコストがかかる

半導体製造の現場ではトレーサビリティが非常に重要視されており、ウェハを一つひとつのICチップに切断するダイシング工程の場合は、ウェハを固定するウェハフレームに1次元または2次元コードが貼られています。

しかし、従来のコードリーダで正確に読み取るためには、位置や角度の調整に手間がかかったり、周囲の光の反射による影響を抑えるために追加の照明をわざわざ設置しなくてはならなかったりと、非常にコストや工数がかかっていました。 半導体製造装置メーカーの設計担当者様は、コードリーダの設置・設定の手間を軽減したいと、常々考えていらっしゃったのではないでしょうか。

 

「小型」「高画素」「低コスト」なコードリーダがトレーサビリティを手軽に実現

 

半導体製造装置の場合はユーザーからシビアな省スペース化の要求があり、設置可能なスペースが限られることから、これまでは取り付け可能なコードリーダの選択肢が限られていました。半導体製造の現場に必要なのは、小型でありながら読み取り性能の高いコードリーダ。

 

IDECでは、半導体製造装置メーカー様の高度な要望に応える製品をご用意しています。それが固定式2次元コードスキャナ「WB2F形」。縦24mm、横40mm、奥行32mmのコンパクトボディながら、高解像度な1.2メガピクセルのCMOSイメージセンサを搭載しており、ダイサーへの設置に適したスペックを備えています。さらに、オートチューニング機能により、手軽に読み取り調整が可能なため、調整に手間がかかったりオプションの購入という余分なコストがかかったりすることもありません。「WB2F形」本体も比較的低コストなので、トータルでは他のコードリーダよりもコストを抑えて導入することが可能といえます。

 

また、金属などの異なる素材に印字するダイレクトパーツマーキングの場合、光の反射やコントラスト比の小ささから通常のコードリーダでは読み取りエラーが発生することがありますが、高解像度でオートチューニング機能のある「WB2F形」であれば、問題なく読み取ることが可能です。もし読み取り異常があったとしても、保存された画像から原因を特定し、すぐに改善ができるという利便性も兼ね備えています。



 

装置への組み込み用途に適した「WB2F形」


固定式2次元コードスキャナ「WB2F形」は、スペースの限られる半導体製造装置の内部にも組み込み可能なコンパクトボディのため、ダイサーに限らず、その他の半導体製造装置でトレーサビリティ環境を構築する際にも役立つスペックを備えています。組み込み使用に関して、設置の詳細な情報をお求めの方は、ぜひIDECにお問合わせください。